效率超过18.5%的P型多晶硅背钝化太阳电池
近年来,晶体硅太阳电池,尤其是多晶硅太阳电池,始终占据着光伏市场的主流地位.在太阳电池向高效化和薄片化发展的趋势下,钝化发射极和背表面电池(PERC)技术受到越来越多的关注,并且已在高效单晶硅电池的研发中获得了广泛应用.本文采用常规156×156mm2 P型多晶硅片,在产业化的多晶硅“冥王星”(Pluto)电池背表面引入量产的PECVD技术制备的氧化铝/氮化硅(AlOx/SiNx)叠层薄膜和背面开窗工艺,制备得到的Pluto-PERC电池表现出良好的背钝化和背反射效果,经第三方测试的电池转换效率达到18.52％.
多晶硅背钝化太阳电池 等离子体增强化学气相沉积工艺 优化设计 产品质量
乔琦 葛剑 席曦 陆红艳 陈如龙 杨健 朱景兵 施正荣 褚君浩
无锡尚德太阳能电力有限公司,江苏无锡214028 中国科学院上海技术物理研究所,上海200083
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2013-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）