高效PERL单晶硅电池背面激光重掺杂工艺的研究

摘要：

激光掺杂具有可控性强,工艺简单快捷的优点.本文主要研究了钝化发射极背面局域扩散结构(PERL)单晶硅电池的背面重掺杂过程.先通过旋涂法在硅片背面上涂布硼源(硼酸),然后采用激光实现背面局域重掺,实验对比了不同的激光掺杂条件和不同的背面结构,通过光学、电学测试来表征分析它们对PERL电池的影响.

关键词： 单晶硅太阳电池 激光重掺杂工艺 优化设计 光电性能

作者: 杨涛 梁宗存 陈树拳 尹庆磊 沈辉

作者单位: 中山大学太阳能系统研究所,光电材料与技术国家重点实验室,广州510275

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 常熟

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2013-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）