基于Modelica的光刻机超精密工件台建模与仿真

摘要：

采用Modelica语言,建立光刻机超精密工件台仿真模型库,并在Mworks平台上进行联合仿真.仿真结果验证了模型的正确性,表明工件台的定位精度符合光刻机的设计要求.该仿真模型库包括直线电机模型、工件台动力学模型、PID控制器模型、逆变器模型等子模型,还可进行轨迹规划算法的比较分析,为光刻机超精密工件台的设计和改进提供了重要的分析工具和方法.

关键词： 光刻机 超精密工件台 仿真分析 设备改进

作者: 陈鹏飞 王彦伟

作者单位: 华中科技大学国家CAD支撑软件工程技术研究中心,湖北 武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 湖北省机械工程学会机械设计与传动专委会暨武汉市机械设计与传动学会第21届学术年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 72-75

在线出版日期: 2013-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）