氧化铝涂层钼模具的制备

摘要：

本实验采用喷涂法在钥模具基底上沉积一层超细AlZ03，在H2气保护气氛下，经过高温烧结形成的致密a-A1203氧化膜结构可靠，精度较高。采用此方法制备的电子枪封接模具，封接件的同心度<0.03mm，满足了行波管电子枪装配要求，模具的结构尺寸精度较高，而且涂层氧化铝不与焊料浸润，克服了不锈钢模具配合间隙较难控制、三高石墨蒸散污染以及纯钥模具粘模的缺点，具有较好的应用前景。

关键词： 微波电真空器件 行波管 氧化铝涂层 钼模具 制备工艺

作者: 赵建东 郝保良 刘燕文 徐振英 孟明凤

作者单位: 中国科学院电子学研究所,北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国电子陶瓷、陶瓷-金属封接第十三届会议暨真空电子与专用金属材料分会2013年年会

会议地点: 新化

会议语种:中文

页码: 77-78

在线出版日期: 2013-09-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）