氧化铝/氮化硅叠层钝化薄膜的气泡研究
氧化铝作为p型太阳电池的背面钝化层有非常重要的应用,氧化铝/氮化硅叠层薄膜是实现背面局域接触的重要结构.但是,在叠层薄膜的制备中会遇到气泡问题,影响了薄膜的钝化效果.本文研究了单层、叠层薄膜中出现的气泡现象,总结了气泡的产生原因,并找到了消除气泡的方法.对消除了气泡以后的叠层薄膜样品进行了烧结稳定性研究,结果显示叠成薄膜的钝化效果在经过高温烧结以后维持稳定,甚至略有提升.
氧化铝/氮化硅叠层薄膜 钝化工艺 优化设计 气泡问题
赵彦 周春兰 汤叶华 周肃 王文静
中国科学院电工研究所,中国科学院太阳能热利用及光伏系统重点实验室,北京 1000190
国内会议
北京
中文
43-46
2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）