基于硅浆料和丝网印刷的硅片掺杂
本文用冷等离子体法制备出含有硼(B)或磷(P)原子的掺杂纳米硅颗粒,将其按照一定的比例均匀分散在特定的溶剂中,便得到了硅浆料.用丝网印刷的方式将该浆料均匀涂覆在硅片上,对硅片进行热处理,使纳米硅颗粒里的杂质原子扩散到硅片内部,实现对硅片的掺杂.通过四探针仪、二次离子质谱、扩展电阻等测试结果可知,本文中的掺杂浆料粘度可调,丝网印刷性能优异,能对硅片进行掺杂浓度高度可控的P型或N型掺杂.
硅片器件 掺杂工艺 硅浆料 丝网印刷技术
高煜 周述 皮孝东 杨德仁
浙江省杭州市浙江大学硅材料国家重点实验室和材料科学与工程学系,310027
国内会议
北京
中文
68-71
2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）