氮化硅涂层与硅熔体间浸润性研究

摘要：

氮化硅涂层是多晶硅铸锭必不可少的脱模剂,氮化硅涂层与硅熔体间保持良好的非浸润性是保证硅锭从坩埚内壁顺利脱模的关键.本文重点研究氮化硅涂层在铸锭过程中浸润性的变化.结果显示,氮化硅涂层的碳化是导致氮化硅涂层与硅熔体间非浸润性降低,从而导致氮化硅涂层失效的主要原因,氮化硅涂层的成分以及铸锭过程的压力条件可显著影响氮化硅涂层的碳化.

关键词： 多晶硅 铸锭工艺 氮化硅涂层 硅熔体 浸润特性

作者: 尹长浩 周海萍 周绪成 张兆玉 黄新明

作者单位: 东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港222300 南京工业大学,南京210009 东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港222300;南京工业大学,南京210009

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届中国光伏大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 83-88

在线出版日期: 2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）