PERL结构单晶硅太阳电池的研究

摘要：

本文研究了钝化发射极背面局域扩散结构(PERL)的单晶硅太阳电池.通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,PECVD沉积掺硼氧化硅结合激光掺杂形成局部背场,依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极,电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池.对比了不同清洗条件对表面钝化的影响,背面电极不同烧结条件对单晶PERL电池电性能的影响,经优化后单晶电池转换效率达到了20.36％.

关键词： 单晶硅太阳电池 钝化发射极背面局域扩散结构 制备工艺 电学性能

作者: 陈丽萍 王永谦 钱洪强 陆红艳 陈如龙 杨健 朱景兵 施正荣

作者单位: 无锡尚德太阳能电力有限公司,江苏214028 江南大学理学院,江苏214122

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届中国光伏大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 143-147

在线出版日期: 2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）