新型坩埚盖板设计下多晶硅铸锭中杂质的控制

摘要：

本文以GTS-DSS450多晶硅铸锭定向凝固炉为研究对象,设计了一种新型的倒U型坩埚盖板.针对传统平直盖板及新型倒U型盖板的情况,耦合求解了炉腔氛围气中的Si0气体、CO气体及熔体中的氧、碳杂质的输运过程,完整展现了不同盖板结构下制备系统内各主要杂质的浓度分布情况.通过模拟研究发现,新型盖板结构对于氛围气中的Si0浓度及熔体中氧浓度影响不大,但熔体表面上方CO浓度及硅熔体中碳浓度能够显著降低.

关键词： 多晶硅 铸锭工艺 坩埚盖板 产品质量

作者: 杨阳 李早阳 刘立军 张运峰 熊景峰

作者单位: 西安交通大学能源与动力工程学院,西安710049 英利绿色能源控股有限公司,保定071051

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届中国光伏大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 218-225

在线出版日期: 2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）