基于“类金字塔”绒面构建的复合背反射电极
绒面背反射电极的陷光作用对提高NIP型硅基薄膜太阳电池的光电转换效率至关重要.本文研究了一种新型的绒面复合背反射电极,首先采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在玻璃衬底上沉积一层“类金字塔”形貌的绒面Zn0薄膜,然后通过热蒸发技术在其表面覆盖不同厚度的Ag,最后溅射厚度约100nm的ZnO:Al介质薄膜.通过改变实验条件,得到不同表面粗糙度(RMS)(约30nm～150nm)的复合背反射电极.实验获得的复合背反射电极在600nm～11OOnm波长范围内对光的反射率大于88％,300nm～11OOnm波长范围内的反射绒度(Haze)大于90％.结果表明,这种基于“类金字塔”绒面结构构建的MOCVD-ZnO/Ag/ZnO:Al复合背反射电极,能够有效地增强对反射光的散射,有望提高薄膜太阳电池的短路电流密度(Jsc).
硅基薄膜太阳电池 复合背反射电极 金属有机化合物化学气相沉积工艺 光电性能
陈泽 魏长春 赵颖 张晓丹 孙建 张德坤 赵慧旭 陈新亮 梁俊辉 梁雪娇 黄茜
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光学信息技术科学教育部重点实验室,天津, 300071
国内会议
北京
中文
369-373
2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）