湿法腐蚀法制备高绒度、高反射复合背电极
本文研究了一种用于nip型硅基薄膜太阳电池的高绒度、高反射的复合背电极结构.首先采用溅射ZnO薄膜,采用稀盐酸湿法腐蚀获得大尺寸的绒面结构;然后溅射小尺寸绒面结构的Ag;最后溅射ZnO介质薄膜.这样形成的ZnO/Ag/ZnO背电极在大尺寸绒面结构的ZnO中包络着小尺寸绒面结构的Ag,由于后面的ZnO介质薄膜厚度较薄,最后的背电极表面自然复制了这种大小相间隔的绒面结构,能够实现良好的陷光作用,同时抑制背电极与硅薄膜接触面的空洞形成.对于ZnO/Ag/ZnO结构的复合背电极,目前实验获得的背电极在波长500nm～1200nm范围内的总反射大于90％,350nm-1200nm范围内的反射绒度大于90％.
硅基薄膜太阳电池 复合背电极 湿法腐蚀工艺 光学性能
索松 侯国付 赵静 魏长春 张晓丹 赵颖
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光学信息技术科学教育部重点实验室,天津, 300071
国内会议
北京
中文
417-420
2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）