太阳电池用绒面结构ZnO-TCO薄膜及光管理研究进展

摘要：

本文主要阐述了近年来薄膜太阳电池用绒面结构氧化锌(ZnO)透明导电氧化物(transparent conductive oxides-TCO)薄膜以及光管理设计方面的研究进展.主要内容有湿法刻蚀技术,等离子体刻蚀玻璃衬底技术,等离子体处理修饰ZnO薄膜表面技术、缓冲层生长ZnO薄膜技术和修饰层改善ZnO薄膜表面技术,多层膜生长设计以及直接生长绒面结构ZnO薄膜技术和宽光谱ZnO薄膜生长设计等.此外,对薄膜太阳电池中的先进光管理(light management)结构设计及新材料应用进行了探讨和展望.

关键词： 绒面结构氧化锌 透明导电氧化物薄膜 生长机理 太阳电池

作者: 陈新亮 田淙升 赵慧旭 杜建 张德坤 魏长春 耿新华 赵颖 张晓丹

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届中国光伏大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 421-426

在线出版日期: 2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）