硫化温度对铜锌锡硫薄膜特性的影响

摘要：

采用预制膜硫化法制备铜锌锡硫(CZTS)薄膜,分别在350□,400□,450□,500□,550□进行硫化,研究了硫化温度对薄膜特性的影响.结果表明:硫化温度低于400□时生成CZTS的硫化反应基本不发生,薄膜中主要发生Cu6Sn5和Cu5Zn8两相中元素相互扩散的合金化过程,同时有少量硫化物Sn3S4和ZnS生成;硫化温度为450□时,合金相消失,硫化后的薄膜同时含有CZTS和SnS;硫化温度为500□时薄膜的主要组成相为CZTS,其晶粒尺寸达2μm,但表面粗糙;硫化温度为550□薄膜中CZTS晶粒尺寸约为2μm,表面平整.

关键词： 铜锌锡硫薄膜 溅射硫化工艺 温度控制 表面质量

作者: 谢敏 庄大明 赵明 刘江 郭力 宋军

作者单位: 清华大学材料学院,先进成形制造教育部重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届中国光伏大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 101-108

在线出版日期: 2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）