多晶硅超小绒面太阳电池表面钝化研究
硅超小绒面太阳能电池具有陷光效果好,制作成本低与制作工艺简单的特点,但是这种结构的太阳能电池由于其表面积相对较大,以及金属诱导造成的表面损伤,使得表面复合较大,影响了太阳能电池的性能.本文利用氮化硅,二氧化硅及相关技术制备钝化层,在太阳能电池的制作成本基本保持不变的情况下,降低了超小绒面太阳能电池的表面复合.结果表明,采用二氧化硅,氮化硅的叠层钝化方式可以有效地提高超小绒面太阳能电池的电学性能.
多晶硅超小绒面太阳电池 钝化工艺 电学性能 表面质量
李昊峰 贾锐 窦丙飞 陈晨 金智 刘新宇
中国科学院微电子研究所,北京100029
国内会议
北京
中文
412-414
2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）