微球组装技术在三维电池衬底中的应用研究
以非晶硅薄膜和聚苯乙烯微球为原料,采用自组装方法和反应离子刻蚀技术制备非晶硅维纳结构,以期应用于三维电池银背电极的制作之中.实验表明,对微球的刻蚀时间进行控制、对非晶硅的刻蚀气压时间进行控制可以获得三维微纳结构.采用合适的工艺条件可以获得梯形、锥状结构,蒸镀银薄膜后能够获得95％左右的可见光、近红外光散射比例,为三维电池提供了一种新的衬底实现方法.
非晶硅薄膜电池 衬底结构 微球自组装工艺 产品质量
高海波 张晓丹 梁雪娇 赵慧旭 刘伯飞 白立沙 陈泽 梁俊辉 赵颖
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室&南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071
国内会议
北京
中文
415-419
2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）