采用皮秒激光与纳秒激光实现硅片钻孔的对比分析

摘要：

激光具有方向性好、能量集中、非接触性等优点,是现代精细加工的重要工具之一.激光钻孔是制作高效MWT电池的关键技术.由于不同脉冲长度的激光与硅片作用的效果不同,本文采用皮秒激光和纳秒激光分别实现硅片钻孔,分析两种激光打孔的形貌特征、损伤情况以及所形成微孔锥度差别.皮秒激光钻孔对硅片损伤小,孔壁光滑并且形成微孔锥度小,适用于MWT加工.

关键词： 硅片材料 纳秒激光工艺 皮秒激光法 产品质量

作者: 宋经纬 王学孟 陈树拳 梁宗存 沈辉

作者单位: 中山大学太阳能系统研究所,广州510006;顺德中山大学太阳能研究院,顺德528300 中山大学太阳能系统研究所,广州510006 顺德中山大学太阳能研究院,顺德528300

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届中国光伏大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 22-28

在线出版日期: 2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）