常压下N2/Ar容性耦合等离子体离子能量分布函数的模拟研究
本文在二维空间上对常压N2/Ar容性耦合等离子体进行了数值模拟,得到了常压环境下等离子体中的电势分布、电子密度以及离子密度等参数,并着重分析了气压变化对离子能量分布函数(IEDFs)的影响.结果显示,随着气压的增加将会导致离子与中性分子以及离子之间在鞘层区域更加剧烈的碰撞,使得离子与电极表面发生碰撞时难以达到较高的能量.本文的研究主要集中在常压下均匀稳定的低温非平衡等离子体源的实现及其相关特性方面.
等离子体 容性耦合 离子能量分布函数 数值模拟
戴义根 顾璠
东南大学能源与环境学院,南京,210096
国内会议
南京
中文
13-22
2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）