双端固支梁MEMS谐振器的建模与仿真

摘要：

本文提出了一种新的双端固支梁MEMS谐振器电器等效模型的建立方法.与传统的首先计算梁等效质量的方法不同,它首先计算等效弹性系数.首先对传统的建模方法进行了阐述,接着介绍新的建模方法,最后对一个特定尺寸的固支梁谐振器用两种方法进行建模并利用ADS仿真.

关键词： 微机电谐振器 双端固支梁结构 等效弹性系数 建模仿真

作者: 蒋俊文 鲍景富 杜亦佳 邓成

作者单位: 电子科技大学电子工程学院 四川成都 611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电路与系统学会第二十三届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 236-242

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）