硅基金刚石薄膜的Raman散射光谱测量

摘要：

有文献报道,随着激发光波长的增加,Raman散射谱峰值的强度会随之改变.本文分别利用波长为1064nm的红外光和波长为532nm的可见光作为激发光源,对采用MPCVD方法在同一生长条件下两种不同来源的Si(SiA、SiB)片上生长的金刚石薄膜进行了测试.并做了SiA、SiB的Raman光谱.得到的结果是用532nm波长的光作为激发光源所得到的Raman光谱谱峰较强,可以得到很清晰的谱图;对于用波长为1064nm的红外Raman散射得到的峰值强度较弱.为了能够利用1064nm的红外Raman散射仪,本文利用差谱的方法对数据结果进行了处理,即用Si片上生长有金刚石膜的Raman谱图与Si的Raman谱图进行差谱.发现可以观察到金刚石特征峰.经理论分析也有相同的结论.结果是利用红外Raman光谱测试,依然可以测得金刚石的谱峰.

关键词： 金刚石薄膜 拉曼散射光谱 激发光源

作者: 刘敏蔷 郝伟 孔乐

作者单位: 北京工业大学应用数理学院,北京100124

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年北京光谱学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 69-71

在线出版日期: 2009-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）