浅析四氯化硅低温氢化在多晶硅生产中的应用

摘要：

　　所谓四氯化硅低温氢化工艺，即相对于传统的多晶硅生产中的热氢化而言，该工艺采用相对较低的温度，在流化床内使四氯化硅转化为三氯氢硅。四氯化硅低温氢化技术具有操作简单、一次转化率高、能耗低等特点，在多晶硅棒生产中得到普遍推广。随着目前光伏行业的发展，节能降耗是摆在众多多晶硅企业面前的关键任务，在多晶硅生产工艺中，四氯化硅低温氢化显得尤为重要。

作者: 刘淑萍 高云龙 刘瑞霞 云苏和

作者单位: 内蒙古神舟硅业有限责任公司,010070

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2012-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）