利用回收硅锯屑制备坩埚涂层用氮化硅粉

摘要：

　　本文以回收的硅片切割锯屑微粉为原料合成坩埚涂层用高纯氮化硅粉体.实验结果表明,通过原料氮化过程中的气体预处理,无需添加稀释剂和催化剂,可以实现高纯氮化硅粉体的一步静态氮化低成本合成.所得合成产物为松软块体,极易碾压成微粉,颜色均一,氧含量小于1.5％,氮含量大于38.5％,α相比例大于90％,金属杂质Fe 含量小于10ppm,符合坩埚涂层要求.

关键词： 氮化硅 硅锯屑 坩埚涂层

作者: 尹传强 李秀平 周浪

作者单位: 南昌大学太阳能光伏学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-7

在线出版日期: 2012-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）