大型多晶硅还原炉的工艺运行控制
(0) 目前国内外主流多晶硅生产装备大致分为12 对、18 对、24 对和36 对棒还原炉等，而24 对棒和36 对棒等大型还原炉是新建多晶硅企业优先考虑采用的装备，对节能降耗、降低成本有着重要意义。本文对比介绍了各类还原炉装备的优缺点，并根据大型多晶硅还原炉的实际运行情况，对系统原理以及运行中的置换过程、炉筒光洁度、物料汽化以及综合参数调整等工艺运行控制要点进行了介绍，为大型还原炉的工艺运行控制实践提供借鉴和指导。
多晶硅 还原炉 运行 控制
姜海明 曹忠 牛聪明 董海成
内蒙古神舟硅业有限责任公司,010070
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2012-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）