少子寿命在单晶硅太阳能电池生产中的变化研究

摘要：

　　非平衡少数载流子的平均生存时间称为非平衡少数载流子的寿命,简称少子寿命。作为评价硅片质量和太阳能电池生产工艺优劣的一个重要手段,少子寿命的地位越来越重要。所以本文主要研究少子寿命在单晶硅太阳能电池生产中的变化和相应变化所产生的原因。影响和改善少子寿命的主要因素包括：硅片质量,制绒去损,磷铝吸杂,PECVD 钝化,热退火等。

关键词： 少子寿命 制绒去损 磷铝吸杂 PECVD钝化 热退火

作者: 刘金虎 刘邦武 夏洋 沈泽南 张祥 何静 宁婕妤

作者单位: 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-7

在线出版日期: 2012-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）