多晶硅副产物二氯二氢硅的回收利用

摘要：

　　二氯二氢硅(DCS)是多晶硅生产过程中的副产物，由于其化学性质活泼，系统内含量大时存在安全风险，且在传统处理方式下对环境造成威胁。通过对二氯二氢硅的回收再利用一方面降低了系统的安全风险，另一方面对企业的降本增效起到了积极的作用。

关键词： 二氯二氢硅 四氯化硅 安全 回收利用

作者: 刘淑萍 董燕军 刘瑞霞

作者单位: 内蒙古神舟硅业有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2012-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）