Doping silicon wafers by use of silicon paste

摘要：

　　介绍了一种基于硅浆料的硅片P 型掺杂方法。将掺硼的纳米硅颗粒分散于溶剂中制得P 型的硅浆料，并将其丝网印刷在硅片的表面。热处理后纳米硅颗粒中的硼原子将扩散进入硅片中，对硅片进行掺杂。二次离子质谱和方块电阻的测试结果表明该方法可成功实现对硅片的掺杂。

关键词： 纳米硅颗粒 丝网印刷 硼掺杂 太阳能电池

作者: Yu Gao Xiaodong Pi Deren Yang

作者单位: State Key Laboratory of Silicon Materials and Department of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 上海

会议语种:英文

页码: 1-3

在线出版日期: 2012-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）