基于卷对卷镀膜技术制造大面积柔性非晶硅薄膜太阳电池

摘要：

　　基于一条具有多项自主知识产权的卷对卷非晶硅薄膜电池中试线,在300mm 幅宽的PI 衬底上制备了非晶硅薄膜电池.研究了通过卷对卷磁控溅射在柔性PI 衬底沉积背反的工艺和卷对卷PECVD 生长非晶硅薄膜技术.经过一系列的工艺优化,在PI 衬底上的大面积单结非晶硅薄膜电池转换效率达到6.5％(AM0,25℃).

关键词： 卷对卷 PI柔性衬底 非晶硅薄膜太阳电池

作者: 蒋帅 马宁华 曹娜娜 张翼翔 陈臻纯 周丽华 王小顺 唐道远 周文灿 叶晓军 杨君坤 刘成 陈亮

作者单位: 上海空间电源研究所 200245

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）