一种硬管化高功率微波源保真空研究

针对一种陶瓷真空界面、天鹅绒阴极和不锈钢外壳的无氧铜压封高功率微波管,利用真空设计软件VacTran建立了系统抽气模型,模拟了真空室主要材料出气率和抽气曲线;通过吸气剂简单吸气模型,对保真空过程中的吸气剂的吸气行为进行了模拟.实验对比了微波管真空室在常温和烘烤状态下抽真空至10-4Pa 量级所需的时间.在真空度满足要求后,采用非蒸散型吸气剂(NEG)作为吸气泵进行保真空实验,静态下保真空超过30 天后,真空度仍维持在2×10-4Pa.在此基础上,对保真空状态下的微波管进行加速寿命实验:温度为80°C,累计时间超过140 小时,真空度仍高于1×10-2Pa,据此估计保真空微波管在常温下保持真空度高于1×10-2 Pa 的时间超过1年.
高功率微波管 真空保持 非蒸散型吸气剂 真空寿命
赵雪龙 荀涛 刘列 杨汉武 樊玉伟
国防科学技术大学 光电科学与工程学院,湖南 长沙 410073
国内会议
贵阳
中文
163-167
2012-08-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)