基于MEMS工艺的太赫兹波导窄带带通滤波器

摘要：

　　太赫兹滤波器在太赫兹通信和雷达系统中起着举足轻重的作用.本文采用附加传输零点的二阶波导滤波器形式,设计了一种中心频率为390GHz,相对带宽仅为2.5％的太赫兹波导滤波器,并基于MEMS体硅工艺技术加工了太赫兹滤波器样品.对该滤波器利用矢量网络分析仪进行测试,结果表明,带内最小插损为4.5 dB,回波损耗优于17.7 dB.

关键词： 太赫兹 滤波器 波导 MEMS工艺

作者: 张勇 谢善谊 胡江

作者单位: 电子科技大学极高频复杂系统国防重点学科实验室,四川成都 611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国太赫兹技术学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 4-7

在线出版日期: 2012-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）