曲面基底的衍射元件加工技术进展

摘要：

　　本文归纳和总结了目前用于曲面基底衍射光学元件的加工技术。首先对现有的主要技术进行了分类，并简要介绍了激光直写技术和软光刻技术用于曲面加工的基本原理和制作流程。重点分析了这两种方法的在提高加工质量和效率方面的技术进展，指出了存在的优缺点，并对曲面基底的衍射元件的加工进行了展望。

关键词： 曲面 衍射光学元件 激光直写 软光刻

作者: 赵浩之 刘娟 史瑞 吴正明 王涌天

作者单位: 北京理工大学 光电学院 100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012中国光学学会全息与光信息处理专业委员会学术年会

会议地点: 四川雅安

会议语种:中文

页码: 1-11

在线出版日期: 2012-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）