电子束蒸发制备性能渐变铝掺杂氧化锌薄膜
采用电子束蒸发镀膜方法，利用不同倾斜角度的基片台在玻璃片上实现斜角沉积AZO(铝掺杂氧化锌)薄膜。研究结果表明，采用不同倾斜角度沉积的AZO 薄膜由于高度差异造成的阴影效应，其薄膜厚度在Z轴方向基本呈现线性渐变的趋势。另外在30°和60°的沉积样品中通过SEM(扫描电子显微镜)观察发现了柱晶倾斜的生长形貌，并且薄膜的方块电阻和透光率由于薄膜厚度的变化也基本呈现线性渐变的趋势。同时，随着沉积角度的增加，薄膜的透光率呈下降趋势；方块电阻呈现先上升后下降的趋势。这种通过斜角入射沉积法得到的性能渐变的AZO 薄膜有望在光学、导电和传感等方面得到新的应用。
AZO薄膜 斜角入射沉积 电子束蒸发 薄膜厚度
曹善鹏 叶飞
大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 116024
国内会议
烟台
中文
58-61
2012-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）