直流电弧喷射法生长电子级自支撑金刚石膜

摘要：

　　采用直流电弧喷射法在钼衬底上生长厚度为500 m的自支撑多晶金刚石膜，通过X射线衍射仪和拉曼测试系统对其晶体质量进行表征.拉曼光谱表明该金刚石无杂相，除去1332cm-1处出现十分明锐的金刚石特征峰外，不存在任何非金刚石峰.X射线衍射的结果表明，金刚石自支撑膜具有明显的(110)择优取向.经抛光处理后金刚石表面平整光滑，粗糙度(Rms)仅为0.569nm.对该样品进行氢等离子体处理形成p型表面沟道，并实现国内首支具有射频特性的金刚石场效应晶体管，最大振荡频率fmax为2.5GHz.

关键词： 直流电弧喷射法 金刚石 X射线衍射 拉曼 场效应晶体管 射频特性

作者: 王晶晶 何泽召 张雄文 冯志红 蔡树军

作者单位: 专用集成电路重点实验室,中国电科十三所,石家庄,050051 专用集成电路重点实验室,中国电科十三所,石家庄,050051;信息工程学院,河北工业大学,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 烟台

会议语种:中文

页码: 179-184

在线出版日期: 2012-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）