氩气在电容耦合放电中特性参数的数值模拟研究

摘要：

　　采用一维流体模型,针对平行板电容耦合放电结构,研究了放电的参数特性.通过数值计算得到了氩气压强为1torr,电压为1～2kV,放电稳态时的电场分布、电子数密度分布和电子温度分布.模拟结果表明电子主要分布在两电极鞘层之间,且电子数密度随电压升高而增大,在2000V时电子数密度的峰值可达到1017m-3.电子温度在电极鞘层里有最大值,可达20eV以上,在等离子体区域则为2-3eV.

关键词： 低温等离子体 电容耦合放电(CCP) 电子数密度 电子温度

作者: 张亚春 何湘 陈建平 倪晓武 沈中华

作者单位: 南京理工大学 理学院,江苏 南京 210094 河海大学,江苏南京 210098 北京航空工程技术研究中心,北京 100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国光学工程博士生论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）