类金刚石薄膜的激光损伤研究进展

摘要：

　　类金刚石薄膜(DLC)具有高硬度、低摩擦系数、稳定的化学性能、高热导率等优良特性，被广泛应用于机械加工和航空航天领域等等。但随着大功率激光器的发展，类金刚石薄膜较差的抗激光损伤能力阻碍了其的发展。因此，对于类金刚石薄膜的激光损伤的研究成为人们目前研究的重点。在综合分析了近年来该领域研究的基础上，总结了影响类金刚石薄膜激光损伤的因素和激光损伤机理。

关键词： 光学薄膜 类金刚石薄膜 激光损伤 机理 损伤阈值

作者: 葛锦蔓 苏俊宏 陈磊

作者单位: 陕西省西安市西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 710032;江苏省南京市南京理工大学 电子工程与光电技术学院 210094 江苏省南京市南京理工大学 电子工程与光电技术学院 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国光学工程博士生论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）