双CGH近似共光路检测离轴凸非球面检测精度分析

摘要：

　　双计算全息(CGHs)近似共光路检测系统可以用来检测离轴凸非球面.系统中，一片CGH矫正参考光系统中的残余球差，另外一块CGH矫正离轴非球面带来的残余像差.检测系统中大部分光学零件为近似共光路元件，检测系统对近似共光路光学零件制造误差要求低.本文以某一个检测系统为例，分析了其检测精度.分析结果表明，该检测系统可以达到1/40λRMS(λ=0.6328um)的检测精度，满足检测要求.

关键词： 光学 近似共光路检测系统 计算全息 离轴凸非球面 检测精度

作者: 任建锋 郭培基

作者单位: 现代光学技术研究所,苏州大学,苏州,215006,中国 江苏省现代光学技术重点实验室,苏州大学,苏州,215006,中国

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国光学工程博士生论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 161-167

在线出版日期: 2012-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）