米级光栅全息曝光拼接系统误差分析

摘要：

　　为制作米级光栅，根据全息拼接光栅方案提出了一种拼接光栅误差的分析方法。设计了两种光栅拼接法并对其进行了比较。全息曝光系统像差对光栅拼接精度及远场光斑能量的分布有直接影响，在有像差情况下利用两种拼接法进行了模拟光栅拼接，模拟了光栅远场光斑分布情况，得到了拼接光栅远场衍射光能量利用率和光强峰值。分析了全息光栅拼接系统中的实际拼接误差，得到了拼接光栅总像差。本文对制作大面积拼接光栅提供了理论依据。

关键词： 光学 光栅拼接 全息光栅 莫尔条纹

作者: 钱国林 吴建宏 李朝明

作者单位: 苏州大学信息光学工程研究所,苏州 215006;苏州市职业大学电子信息工程系 苏州 215104 苏州大学信息光学工程研究所,苏州 215006

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国光学工程博士生论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 174-180

在线出版日期: 2012-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）