基于旋转平移的干涉绝对检验

摘要：

　　提出了一种旋转平移方法，实现平面和球面的干涉绝对检验。被测件面形被分解成旋转对称成分和旋转非对称成分。通过N次旋转被测件，求解面形中的旋转非对称成分；通过平移被测件实现伪剪切，求解面形中的旋转对称成分。与三面互检法相比，该方法不需要对波面进行Zernike多项式拟合，避免了拟合误差，可以实现纳米精度的面形测量。在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对检验测量，验证了旋转平移方法的可行性。

关键词： 干涉 绝对检验 旋转 平移

作者: 袁群 高志山 张聪旸 成金龙 朱波

作者单位: 南京理工大学电子工程与光电技术学院 江苏 南京 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国光学工程博士生论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 218-223

在线出版日期: 2012-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）