基于电化学加工的微钠探针制备技术
提出了基于液膜电化学加工原理制备尖锥形和大长径比探针的方法。分析了液膜电化学加工方法的加工机理,采用静态液膜法制备出针尖曲率半径为40 nm的尖锥形探针。通过动态液膜电化学加工方法,即在工件阳极施加往复直线运动的方法制备具有大长径比的探针。对动态液膜法的成型机理进行了阐述,并通过试验、分析得出了加工电压、电解液浓度、运动参数等对探针长径比与平均直径的影响规律,并制备出长径比达70、平均直径为300 nm的大长径比探针。
微钠探针 电化学加工 制备工艺 科技创新
王玉峰 曾永彬 曲宁松 吴修娟 朱荻
南京航空航天大学机电学院,江苏南京 210016
国内会议
南京
中文
14-17
2013-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）