关于微细超声波加工脆塑模式的判别标准的讨论

摘要：

在微细超声波加工单晶硅<100>面过程中,通过适当调整加工参数,可以使加工表面呈现出塑性加工的特征,从而提高材料的表面质量。但目前对于微细超声波加工的去除模式并没有一个客观统一的判别方法,主要根据主观观察来判断加工表面属于塑性或脆性去除。通过大量实验分析,得出表面粗糙度Rpk可以作为判别微细超声波加工单晶硅<100>面材料去除模式的判别标准,并且通过实验进行了验证。

关键词： 微细超声波加工 脆塑模式 表面粗糙度 判别标准

作者: 宋家雯 汪涛 余祖元 李剑中 夏恒

作者单位: 大连理工大学机械工程学院,辽宁大连 116024 日本东京农工大学产业技术系,日本东京 183-8538

会议类型: 国内会议

会议名称: 第15届全国特种加工学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 336-339

在线出版日期: 2013-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）