生物芯片微流道的微细加工工艺
在生物芯片发展初期,其基底材料主要是玻璃,这主要是由于其加工方法是从半导体工业转移而来以及玻璃材料的表面特性。然而随着大批量和低成本的需求,基底材料转向聚合物材料,而其加工方法相应发生转变。通过对比,介绍了生物芯片微流道微细加工中几种不同方法的原理及特点。
生物芯片 高分子基底材料 微流道微细加工 科技创新
江树镇 郭钟宁 郑文书 黄红光
广东工业大学机电工程学院,广东广州 510006
国内会议
南京
中文
416-421
2013-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）