基于STM纳米电加工针尖几何效应的有限元分析和实验研究
构造了基于扫描隧道显微镜(STM)电加工装置的针尖-样品模型,利用有限元方法计算获得了加工过程中,不同针尖几何模型下,样品表面和针尖-样品间隙间的电场强度分布;且基于电击穿时的电场强阈值,预测了在纳米尺度间隙下STM电加工过程中相应的刻蚀结果.通过对导电石墨样品表面进行纳米电加工试验,观察到由于针尖顶端的几何差异,加工形成了不同深径比的刻蚀坑,并通过实验确定了最佳加工状态下的针尖曲率半径值,与有限元预测结果相一致,实验结果有效地验证了有限元计算和预测的结果.
针尖模型 纳米电加工 扫描探针显微镜 几何效应 有限元分析
杨晔 赵万生
上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室,上海200240
国内会议
南京
中文
351-356
2013-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）