添加剂元素掺杂AZO薄膜的性能和制备综述

摘要：

随着AZO薄膜的发展,近年来国内外一些研究者开展了许多针对添加剂元素掺杂AZO薄膜的研究,并发现其一些性能优于AZO薄膜,特别是光电性能方面,这些发现使得AZO薄膜在光电领域更有发展潜力.本文重点从元素掺杂影响的透光机制归纳了添加剂元素掺杂AZO薄膜的光学性能研究,其结果是掺杂元素之间会产生相互协同影响,使得添加剂元素掺杂AZO薄膜散射中心减少,从而具有更好的透光性;同时对添加剂元素掺杂AZO薄膜的电学性能研究也做了归纳,结果是不同元素掺杂的薄膜,对导电性能起促进和抑制作用都存在,并阐述了这些方面的研究现状.文中对目前所报道的脉冲激光法、溶胶-凝胶法,喷雾热解法和磁控溅射法四种主要制备添加剂元素掺杂AZO薄膜的技术以及它们各自的优缺点进行了介绍,另外对应阐述了各制备技术制备的添加剂元素掺杂AZO薄膜的研究现状,结果显示:四种方法对制备添加剂元素掺杂AZO薄膜都有较好的数据结果,目前最好的是磁控溅射法制备的薄膜.最后展望了添加剂元素掺杂AZO薄膜的未来发展与研究趋势.

关键词： 掺铝氧化锌薄膜 添加剂元素 掺杂改性 光电性能 制备技术

作者: 李春光 王飞 安涛 王东新

作者单位: 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安710048;中色(宁夏)东方集团有限公司,宁夏石嘴山753000 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安710048 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心,宁夏石嘴山753000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届稀有金属冶金学术委员会全体委员工作会议暨全国稀有金属学术交流会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 386-391

在线出版日期: 2013-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）