碳化硅粉体合成技术研究进展

摘要：

高纯超细的碳化硅粉体是制备高性能碳化硅器件的重要前提,本文重点总结了近年来碳化硅粉体合成工艺的最新进展,固相法包括碳热还原法、燃烧合成法、机械合金化法等,液相法包括溶胶-凝胶法、聚合物热分解法,气相法包括化学气相沉积法、等离子体法.指出了存在的主要问题,并展望了今后的发展方向.

关键词： 碳化硅粉体 合成工艺 技术创新

作者: 戴培赟 李晓丽 王泌宝 傅晓庆

作者单位: 潍坊工商职业学院 山东诸城262234

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013耐火材料综合学术会议、第十二届全国不定形耐火材料学术会议、2013耐火原料学术交流会

会议地点: 洛阳

会议语种:中文

页码: 376-379

在线出版日期: 2013-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）