对芯片中金属密度的研究及用CALIBRE编程语句实现自动添加金属DUMMY的方法

摘要：

金属密度在集成电路生产中是一个很重要的参数,过高或是过低的金属密度会对芯片产生负面的影响,所以使其保持一个稳定的数值是十分重要的.本文从通过介绍金属密度对芯片的影响入手,陆续介绍了减小和增大金属密度的方法,最后较详细地描述了通过CALIBRE工具的编程语言自动生成金属DUMMY的方法,此法能有效的提高后端设计的速率.

关键词： 集成电路 生产工艺 参数优化 计算机软件

作者: 张卓先 刘晓亭

作者单位: 天津市慧微微电子科技研发有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二十七届中国(天津)2013’IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 135-138

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）