热阴极直流辉光等离子体含氩气氛中制备纳米金刚石膜研究

摘要：

采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米金刚石膜沉积的影响.对样品形貌的SEM测试表明,随着氩气与氢气流量比由40/100增加到190/10,膜中金刚石晶粒大小由约600 nm左右减小到约30 nm.金刚石膜Raman谱中金刚石特征峰逐渐降低,石墨G峰逐渐增高,反式聚乙炔特征峰及其伴峰强度加大.等离子体光谱分析表明C,是生长纳米晶金刚石膜的主要活性基团.

关键词： 纳米金刚石膜 制备工艺 热阴极直流辉光等离子体 氩气气氛

作者: 彭鸿雁 赵立新 姜宏伟 傅军 张铁民

作者单位: 海南师范大学物理与电子工程学院激光与材料实验室,海南海口571158 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料黑龙江省重点实验室,黑龙江牡丹江157012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 536-541

在线出版日期: 2013-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）