扫描电镜STEM模式在钨离子注入PET膜的分析中的应用
本文讲述了用场发射扫描电镜的扫描透射模式观察MEVVA(金属蒸汽真空弧)离子源钨离子注入聚酯(PET)膜的横截面的超薄切片.当注量为2×1017cm-2时,发现注入层的表面有一层钠米颗粒.通过对比该样品放入加速电压为100kV的普通透射电镜观察结果,表明场发射扫描电镜的扫描透射模式对于待观察的样品具有良好的穿透性,足够的的分辨率和放大倍数.在微区成分分析时可以如预期地得到一个较好的元素成分分析空间分辨率.且该方法充分发挥了场发射电子枪高亮度、电子束直径小的优势.
扫描电镜 电子枪 离子注入 场发射 成分分析
周固
北京师范大学分析测试中心 北京 100875
国内会议
2013年度北京市电子显微学研讨会暨第九届全国实验室科学管理交流会
云南腾冲
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11-13
2013-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）