聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用

摘要：

本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用.指出聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,成为材料科学、微纳加工、半导体器件制造等应用中的一种重要手段.尤其是其精密加工和定位加工的特点,获得了众多研究者的青睐.

关键词： 扫描电镜 双束系统 材料性能 工程应用

作者: 王榕 杨文言

作者单位: 清华大学摩擦学国家重点实验室,北京 100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年度北京市电子显微学研讨会暨第九届全国实验室科学管理交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 21-27

在线出版日期: 2013-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）