LTPS TFT-LCD的一种薄化方法

摘要：

近年来,随着液晶显示面板行业的发展,面板行业出现了很多新的面板制造工艺,而LTPS是其中较为成熟的一种。市场对于液晶面板质量需求越来越高,产品薄化成为市场的主流趋势。通过薄化将产品由原来的1.0mm减薄为0.5mm、0.4mm、0.3mm等。本文主要探讨了LTPS TFT-LCD产品的一种薄化方法——Top-Spray化学薄化法，探讨了薄化原理、工艺流程、控制工艺及品质等问题。

关键词： 液晶面板 玻璃加工 化学薄化法 工艺设计 质量控制

作者: 万长明

作者单位: 成都工投电子科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国硅酸盐学会电子玻璃分会2013年光电子玻璃技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 127-132

在线出版日期: 2013-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）