基于定压法的低温泵性能测试与分析

摘要：

本文介绍了一种基于定压流量法的低温泵性能测试方法.由于国内外尚无统一的测试标准,所以该低温泵的性能测试方法参考了分子泵等的性能测试方法,制定了标准的性能测试装置.文中主要论述了其性能测试方法及基于CP1OOOLN2低温泵的性能测试复验.

关键词： 低温真空泵 定压流量法 性能测试

作者: 徐中堂 武义峰

作者单位: 安徽万瑞冷电科技有限公司 合肥 230088 中国电子科技集团公司第十六研究所 合肥 230043

会议类型: 国内会议

会议名称: “方园杯”安徽省第二届真空科技青年创新大赛暨学术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 46-51

在线出版日期: 2012-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）