电涡流位移传感器动态特性自动测量系统研制

摘要：

介绍了电涡流位移传感器动态特性自动测量系统的原理和组成,该系统采用激光位移传感器监控模拟振动装置的振幅值,振幅的最大误差不超过±2.0μm.系统在计算机控制下可以自动完成电涡流位移传感器频响特性和幅值特性等动态特性的检定工作。以实际检定电涡流位移传感器的频响特性为例,该测量系统测量结果的扩展不确定度为0.14 dB.

关键词： 几何量计量 电涡流位移传感器 动态特性 自动测量系统

作者: 张勇 梁平 张玉珍 陈伟琪

作者单位: 广东省计量科学研究院,广东广州510405

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 6-9

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）