轮廓形状测量系统的主要误差评定方法

摘要：

高精度轮廓形状测量系统广泛用于球面、非球面光学元件面形轮廓等的精密测量。为准确评定其主要误差来源,在阐述接触式轮廓形状测量系统原理和结构的基础上,以ISO测量不确定度表示指南为依据,研究了具有代表性的高精度轮廓形状测量系统的各项误差,详细分析了误差来源与大小。结果表明,在200 mm测量范围内计算得到合成标准不确定度约为0.05μm。

关键词： 轮廓形状测量系统 误差评定 测量不确定度

作者: 张恒 康岩辉

作者单位: 中国计量科学研究院,北京100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 10-12

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）